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Trockene und saubere Pumpe mit hohem Vorvakuum-Saugvermögen (35 m3/h), Spezielle Pumpenarchitektur für hohe Helium-Pumpgeschwindigkeit und extrem schnelle Reaktionszeiten, Schmales Design und sehr manövrierfähig, Großer Farb-Touchscreen, vollständig drehbar und ohne Werkzeug abnehmbar, Integrierte Toolbox zur Aufbewahrung von Zubehör, Vollständig konfigurierbare E/A-Schnittstelle (37 Pins D-Sub) für die Steuerung über PC/SPS, Ethernet-Kommunikation (Schaffen eines zusätzlichen Kommunikationsanschlusses), Anschließbares DN 40 Abgas für den Anschluss an einen allgemeinen Fab-Auslass

5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 1360 l/s für N2, Flansch DN 200 CF-F für anspruchsvolle Anwendungen im UHV, Betrieb mit externer Magpower­-Antriebselektronik, Einbau in allen Lagen, Wassergekühlt, beheizt, Mit CE-Zeichen und RoHS-konform

5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 1360 l/s für N2, Anschlussflansch DN 200 ISO-F, Betrieb mit externer Magpower­-Antriebselektronik, Einbau in allen Lagen, Wassergekühlt, beheizt, Mit CE-Zeichen und RoHS-konform

5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 1400 l/s für N2, Anschlussflansch DN 250 CF-F, Betrieb mit externer Magpower­-Antriebselektronik, Einbau in allen Lagen, Wassergekühlt, beheizt, Mit CE-Zeichen und RoHS-konform

5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 1400 l/s für N2, Anschlussflansch DN 250 ISO-F, Betrieb mit externer Magpower­-Antriebselektronik, Einbau in allen Lagen, Wassergekühlt, beheizt, Mit CE-Zeichen und RoHS-konform

5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 1360 l/s für N2, Flansch DN 200 CF-F für anspruchsvolle Anwendungen im UHV, Betrieb mit externer Magpower­-Antriebselektronik, Einbau in allen Lagen, Wassergekühlt, unbeheizt, Mit CE-Zeichen und RoHS-konform

5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 1360 l/s für N2, Flansch DN 200 CF-F für anspruchsvolle Anwendungen im UHV, Betrieb mit integrierter Antriebselektronik OBC V4, Einbau in allen Lagen, Remote, wassergekühlt, unbeheizt, Mit CE-Zeichen und RoHS-konform

5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 1360 l/s für N2, Flansch DN 200 CF-F für anspruchsvolle Anwendungen im UHV, Betrieb mit integrierter Antriebselektronik OBC V4, Einbau in allen Lagen, Profibus, wassergekühlt, unbeheizt, Mit CE-Zeichen und RoHS-konform

5-achsig magnetgelagerte Turbopumpe mit Holweckstufe für ein Saugvermögen von bis zu 1360 l/s für N2, Anschlussflansch DN 200 ISO-F, Betrieb mit externer Magpower­-Antriebselektronik, Einbau in allen Lagen, Wassergekühlt, nicht beheizt, Mit CE-Zeichen und RoHS-konform