真空室

带有焊接平底的圆柱形立式主体和带有氟橡胶密封件的顶部法兰, 带有把手和外部导轨的亚克力玻璃盖 (PMMA)，便于安装并在放下时保护密封面, 内外表面进行了玻璃珠喷砂, 带安装带的腔室, 可用的腔室端口（附件）

带有焊接平底的圆柱形立式主体和带有氟橡胶密封件的顶部法兰, 带有把手和外部导轨的亚克力玻璃盖 (PMMA)，便于安装并在放下时保护密封面, 内外表面进行了玻璃珠喷砂, 带安装带的腔室, 可用的腔室端口（附件）

带有焊接平底的圆柱形立式主体和带有氟橡胶密封件的顶部法兰, 带有把手和外部导轨的亚克力玻璃盖 (PMMA)，便于安装并在放下时保护密封面, 内外表面进行了玻璃珠喷砂, 带安装带的腔室, 可用的腔室端口（附件）

模块化设计，随时提供高灵活性, 方形底板，带有用于 ISO-K 定心环的定心槽和密封面，以及用于 ISO-K 夹钳，带螺纹孔的螺栓圈, 用于安装的固定孔, 地面

模块化设计，随时提供高灵活性, 方形底板，带有用于 ISO-K 定心环的定心槽和密封面，以及用于 ISO-K 夹钳，带螺纹孔的螺栓圈, 用于安装的固定孔, 地面

模块化设计，随时提供高灵活性, 方形底板，带有用于 ISO-K 定心环的定心槽和密封面，以及用于 ISO-K 夹钳，带螺纹孔的螺栓圈, 用于安装的固定孔, 地面

模块化设计，随时提供高灵活性, 圆柱形垂直基体，两侧与 ISO-K 基体法兰焊接, 表面：内外进行了玻璃珠喷砂, 可用的腔室端口（附件）

模块化设计，随时提供高灵活性, 圆柱形垂直基体，两侧与 ISO-K 基体法兰焊接, 表面：内外进行了玻璃珠喷砂, 可用的腔室端口（附件）

模块化设计，随时提供高灵活性, 圆柱形垂直基体，两侧与 ISO-K 基体法兰焊接, 表面：内外进行了玻璃珠喷砂, 可用的腔室端口（附件）