由于计划中的系统更新,从周一至周三期间,客户门户可能会出现暂时的中断或短暂的不可用情况。
对 load lock 腔体实现最短抽真空时间, 能耗低,维护工作量少,正常运行时间长, 尺寸小巧、重量轻盈
别担心,我们不会让您处于真空状态