先进的螺杆设计,出色的运行质量,集成式罗茨泵,非常适合太阳能, 平板和半导体应用以及具有高气体温度的严苛流程,如蚀刻和 CVD、出色的粉末搬运、适用于要求严苛的应用的钨镀膜螺杆, 拥有成本低,维护少,保养间隔长,正常运行时间长,高氢气吞吐量,低能耗,变温控制, 密闭式设计,直联的罐装电机,前级泵和罗茨泵组合安装于底座上,低振动水平
先进的螺杆设计,出色的运行品质,集成罗茨泵,非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用, 拥有成本低,维护少,保养间隔长,正常运行时间长,高效水冷却,高氢气吞吐量, 密闭式设计,直联的罐装电机,前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
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