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腔室

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    安装在 ASM 182 series 入口法兰上的测试室
    中型铝质测试室，圆柱形，内部尺寸：直径 85 mm，高度 68 mm

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    安装在 ASM 182 series 入口法兰上的测试室
    大型铝质测试室，圆柱形，内部尺寸：直径 160 mm，高度 100 mm

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