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先进的螺杆设计,出色的运行品质,集成罗茨泵,非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
拥有成本低,维护少,保养间隔长,正常运行时间长,高效水冷却,高氢气吞吐量
密闭式设计,直联的罐装电机,前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
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先进的螺杆设计,出色的运行品质,集成罗茨泵,非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
拥有成本低,维护少,保养间隔长,正常运行时间长,高效水冷却,高氢气吞吐量
密闭式设计,直联的罐装电机,前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
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